Плазменные покрытия (методы и оборудование) учебное пособие
Дается обзор современных методов получения покрытий с использованием низкотемпературной плазмы. Систематизируются основные, использующиеся в настоящее время методы нанесения покрытий, рассматриваются методы ассистированного плазмой химического газофазного и физического газофазного осаждения. Отд...
Главный автор: | |
---|---|
Другие авторы: | , |
Формат: | Книга |
Язык: | Russian |
Публикация: |
Томск
ТПУ
2011
|
Предметы: | |
Online-ссылка: | ЭБС Лань ЭБС Лань Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |