Технология материалов и изделий электронной техники. Методические указания к практическим занятиям
Целью настоящего пособия является углубление понимания процессов, происходящих при формировании материалов и изделий. Уделяется внимание процессам обеспечения вакуума при формировании нанослоев, процессам подготовки изделий к технологическим операциям. Рассматриваются варианты задач по осаждению п...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва
ТУСУР
2012
|
| Online Access: | ЭБС Лань ЭБС Лань Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
| LEADER | 02277nam a22002171 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 005 | 20230306222930.0 | ||
| 007 | cr bn uu|uu | ||
| 008 | 200604s2012 ru Wk 000 m rus d | ||
| 040 | |a RU-ToGUA |b rus |c RU-ToGUA |e PSBO | ||
| 100 | 1 | |a Орликов, Л. Н. | |
| 245 | 1 | 0 | |a Технология материалов и изделий электронной техники. Методические указания к практическим занятиям |h Электронный ресурс |c Орликов Л. Н. |
| 260 | |a Москва |b ТУСУР |c 2012 | ||
| 300 | |a 31 с. | ||
| 520 | 3 | |a Целью настоящего пособия является углубление понимания процессов, происходящих при формировании материалов и изделий. Уделяется внимание процессам обеспечения вакуума при формировании нанослоев, процессам подготовки изделий к технологическим операциям. Рассматриваются варианты задач по осаждению пленок и сорбционно-десорбционным процессам, сопровождающим формирование покрытий в вакууме. Пособие предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению Электроника и микроэлектроника (специальность Электронные приборы и устройства по дисциплине Технология материалов и изделий электронной техники. | |
| 540 | |a Книга из коллекции ТУСУР - Инженерно-технические науки | ||
| 695 | |i учебная | ||
| 856 | 4 | |u http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=10900 |y ЭБС Лань | |
| 856 | 4 | 1 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/10900.jpg |y ЭБС Лань |
| 856 | |y Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |u https://catalog.tsuab.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=737177 | ||
| 999 | |c 737177 |d 737177 | ||
| 039 | |z 2 |b 2 | ||