Технология материалов и изделий электронной техники. Методические указания к практическим занятиям

Целью настоящего пособия является углубление понимания процессов, происходящих при формировании материалов и изделий. Уделяется внимание процессам обеспечения вакуума при формировании нанослоев, процессам подготовки изделий к технологическим операциям. Рассматриваются варианты задач по осаждению п...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Орликов, Л. Н.
Format: Book
Language:Russian
Published: Москва ТУСУР 2012
Online Access:ЭБС Лань
ЭБС Лань
Перейти в каталог НТБ ТГАСУ
LEADER 02277nam a22002171 4500
005 20230306222930.0
007 cr bn uu|uu
008 200604s2012 ru Wk 000 m rus d
040 |a RU-ToGUA  |b rus  |c RU-ToGUA  |e PSBO 
100 1 |a Орликов, Л. Н. 
245 1 0 |a Технология материалов и изделий электронной техники. Методические указания к практическим занятиям  |h Электронный ресурс  |c Орликов Л. Н. 
260 |a Москва  |b ТУСУР  |c 2012 
300 |a 31 с. 
520 3 |a Целью настоящего пособия является углубление понимания процессов, происходящих при формировании материалов и изделий. Уделяется внимание процессам обеспечения вакуума при формировании нанослоев, процессам подготовки изделий к технологическим операциям. Рассматриваются варианты задач по осаждению пленок и сорбционно-десорбционным процессам, сопровождающим формирование покрытий в вакууме. Пособие предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению Электроника и микроэлектроника (специальность Электронные приборы и устройства по дисциплине Технология материалов и изделий электронной техники. 
540 |a Книга из коллекции ТУСУР - Инженерно-технические науки 
695 |i учебная 
856 4 |u http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=10900  |y ЭБС Лань 
856 4 1 |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/10900.jpg  |y ЭБС Лань 
856 |y Перейти в каталог НТБ ТГАСУ  |u https://catalog.tsuab.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=737177 
999 |c 737177  |d 737177 
039 |z 2  |b 2