Методы получения эпитаксиальных гетерокомпозиций учебное пособие для вузов
В пособии рассмотрены особенности различных методов получения эпитаксиальных полупроводниковых гетерокомпозиций на основе твердых растворов соединений А 3 В 5 , А 2 В 6 , А 2 В 4 , твердых растворов германий-кремний, аппаратурнометодические особенности каждого метода, их преимущества и недостатк...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва
НИЯУ МИФИ
2012
|
| Online Access: | ЭБС Лань ЭБС Лань Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
| LEADER | 03612nam a22002891 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 005 | 20230306230906.0 | ||
| 007 | cr bn uu|uu | ||
| 008 | 200604s2012 ru Wk 000 m rus d | ||
| 020 | |a 9785726215891 | ||
| 040 | |a RU-ToGUA |b rus |c RU-ToGUA |e PSBO | ||
| 080 | |a 621.382(075.8) | ||
| 084 | |a 22.3 |2 rubbk | ||
| 100 | 1 | |a Ратушный, В. И. | |
| 245 | 1 | 0 | |a Методы получения эпитаксиальных гетерокомпозиций |h Электронный ресурс |b учебное пособие для вузов |c Ратушный В. И., Ермолаева Н. В., Смолин А. Ю. |
| 260 | |a Москва |b НИЯУ МИФИ |c 2012 | ||
| 300 | |a 200 с. | ||
| 500 | |a Рекомендовано УМО Ядерные физика и технологии в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений | ||
| 520 | 3 | |a В пособии рассмотрены особенности различных методов получения эпитаксиальных полупроводниковых гетерокомпозиций на основе твердых растворов соединений А 3 В 5 , А 2 В 6 , А 2 В 4 , твердых растворов германий-кремний, аппаратурнометодические особенности каждого метода, их преимущества и недостатки, дальнейшие перспективы развития и применения. Большое внимание уделено используемому технологическому оборудованию и физическим процессам, лежащим в основе каждого метода, а также методам жидкофазной эпитаксии и получению многокомпонентных твердых растворов соединений A III B V . Пособие составлено в соответствии с Государственным образовательным стандартом по дисциплинам Методы получения эпитаксиальных гетерокомпозиций, Технологии материалов электронной техники. Предназначено для организации самостоятельной работы студентов очной формы обучения по направлению подготовки 210100 - Электроника и наноэлектроника, профиль подготовки Микроэлектроника и твердотельная электроника, а также для аспирантов, научных сотрудников и инженеров-технологов, специализирующихся в области технологии материалов электронной техники. | |
| 540 | |a Книга из коллекции НИЯУ МИФИ - Инженерно-технические науки | ||
| 695 | |i учебная | ||
| 700 | 1 | |a Ермолаева, Н. В. | |
| 700 | 1 | |a Смолин, А. Ю. | |
| 856 | 4 | |u http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=75731 |y ЭБС Лань | |
| 856 | 4 | 1 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/75731.jpg |y ЭБС Лань |
| 856 | |y Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |u https://catalog.tsuab.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=776230 | ||
| 999 | |c 776230 |d 776230 | ||
| 039 | |z 2 |b 2 | ||