Методы получения эпитаксиальных гетерокомпозиций учебное пособие для вузов
В пособии рассмотрены особенности различных методов получения эпитаксиальных полупроводниковых гетерокомпозиций на основе твердых растворов соединений А 3 В 5 , А 2 В 6 , А 2 В 4 , твердых растворов германий-кремний, аппаратурнометодические особенности каждого метода, их преимущества и недостатк...
Main Author: | |
---|---|
Other Authors: | , |
Format: | Book |
Language: | Russian |
Published: |
Москва
НИЯУ МИФИ
2012
|
Online Access: | ЭБС Лань ЭБС Лань Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |