Методы получения эпитаксиальных гетерокомпозиций учебное пособие для вузов

В пособии рассмотрены особенности различных методов получения эпитаксиальных полупроводниковых гетерокомпозиций на основе твердых растворов соединений А 3 В 5 , А 2 В 6 , А 2 В 4 , твердых растворов германий-кремний, аппаратурнометодические особенности каждого метода, их преимущества и недостатк...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Ратушный, В. И.
Other Authors: Ермолаева, Н. В., Смолин, А. Ю.
Format: Book
Language:Russian
Published: Москва НИЯУ МИФИ 2012
Online Access:ЭБС Лань
ЭБС Лань
Перейти в каталог НТБ ТГАСУ