Методы получения эпитаксиальных гетерокомпозиций учебное пособие для вузов
В пособии рассмотрены особенности различных методов получения эпитаксиальных полупроводниковых гетерокомпозиций на основе твердых растворов соединений А 3 В 5 , А 2 В 6 , А 2 В 4 , твердых растворов германий-кремний, аппаратурнометодические особенности каждого метода, их преимущества и недостатк...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва
НИЯУ МИФИ
2012
|
| Online Access: | ЭБС Лань ЭБС Лань Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
