Напыление тонких пленок испарением в вакууме практикум
Издание представляет собой описание лабораторной практикума по базовому курсу Физико-химические основы технологии микро- и наноструктур. Методический материал включает краткую характеристику методов тонкопленочной технологии, общие особенности оборудования для получения тонких пленок в вакууме,...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Нижний Новгород
ННГУ им. Н. И. Лобачевского
2020
|
| Online Access: | ЭБС Лань ЭБС Лань Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
| LEADER | 02709nam a22002531 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 005 | 20230306232822.0 | ||
| 007 | cr bn uu|uu | ||
| 008 | 200805s2020 ru W 000 m rus d | ||
| 040 | |a RU-ToGUA |b rus |c RU-ToGUA |e PSBO | ||
| 080 | |a 621.382 | ||
| 084 | |a 22.379 |2 rubbk | ||
| 100 | 1 | |a Ершов, А. В. |9 286709 | |
| 245 | 1 | 0 | |a Напыление тонких пленок испарением в вакууме |h Электронный ресурс |b практикум |c Ершов А. В., Нежданов А. В. |
| 260 | |a Нижний Новгород |b ННГУ им. Н. И. Лобачевского |c 2020 | ||
| 300 | |a 30 с. | ||
| 500 | |a Рекомендовано методической комиссией физического факультета для бакалавров, обучающихся по следующим направлениям подготовки: 210100 - Электроника и наноэлектроника, 222900 - Нанотехнологии и микросистемная техника | ||
| 520 | 3 | |a Издание представляет собой описание лабораторной практикума по базовому курсу Физико-химические основы технологии микро- и наноструктур. Методический материал включает краткую характеристику методов тонкопленочной технологии, общие особенности оборудования для получения тонких пленок в вакууме, физические аспекты процессов испарения веществ в вакууме, даны указания к выполнению лабораторного практикума. Практикум предназначен для бакалавров физического факультета ННГУ, обучающихся по направлениям подготовки: 210100 - Электроника и наноэлектроника, 222900 - Нанотехнологии и микросистемная техника. | |
| 540 | |a Книга из коллекции ННГУ им. Н. И. Лобачевского - Инженерно-технические науки | ||
| 700 | 1 | |a Нежданов, А. В. |9 286708 | |
| 856 | 4 | |u https://e.lanbook.com/book/144919 |y ЭБС Лань | |
| 856 | 4 | 1 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/144919.jpg |y ЭБС Лань |
| 856 | |y Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |u https://catalog.tsuab.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=792425 | ||
| 999 | |c 792425 |d 792425 | ||
| 039 | |z 2 |b 2 | ||