Ионное легирование кремния практикум
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Нижний Новгород
ННГУ им. Н. И. Лобачевского
2013
|
| Online Access: | ЭБС Лань ЭБС Лань Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
| LEADER | 01568nam a22002411 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 005 | 20230306233203.0 | ||
| 007 | cr bn uu|uu | ||
| 008 | 201102s2013 ru W 000 m rus d | ||
| 040 | |a RU-ToGUA |b rus |c RU-ToGUA |e PSBO | ||
| 080 | |a 538.9(076) + 621.315.592(076) | ||
| 084 | |a В37я73-4 |2 rubbk | ||
| 100 | 1 | |a Карзанов, В. В. |9 286600 | |
| 245 | 1 | 0 | |a Ионное легирование кремния |h Электронный ресурс |b практикум |c Карзанов В. В., Королев Д. С. |
| 260 | |a Нижний Новгород |b ННГУ им. Н. И. Лобачевского |c 2013 | ||
| 300 | |a 21 с. | ||
| 500 | |a Рекомендовано методической комиссией физического факультета для студентов, обучающихся по следующим направлениям подготовки: 210100 - Электроника и наноэлектроника, 222900 - Нанотехнологии и микросистемная техника | ||
| 540 | |a Книга из коллекции ННГУ им. Н. И. Лобачевского - Инженерно-технические науки | ||
| 700 | 1 | |a Королев, Д. С. |9 289496 | |
| 856 | 4 | |u https://e.lanbook.com/book/153027 |y ЭБС Лань | |
| 856 | 4 | 1 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/153027.jpg |y ЭБС Лань |
| 856 | |y Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |u https://catalog.tsuab.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=795808 | ||
| 999 | |c 795808 |d 795808 | ||
| 039 | |z 2 |b 2 | ||