Микродатчики и микросистемы Учебное пособие
Представлены конструкции и принципы работы основных типов микродатчиков и микросистем разработанных и применяемых в настоящее время. Даны определения основным терминам используемым в микросистемной технике. Приведен перечень метрологических параметров характеризующих микросистему как измерительный...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Вологда
Инфра-Инженерия
2023
|
| Subjects: | |
| Online Access: | ЭБС Знаниум ЭБС Знаниум Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
| Summary: | Представлены конструкции и принципы работы основных типов микродатчиков и микросистем разработанных и применяемых в настоящее время. Даны определения основным терминам используемым в микросистемной технике. Приведен перечень метрологических параметров характеризующих микросистему как измерительный прибор. Отдельным вопросом рассмотрено компьютерное моделирование и проектирование микросистем на основе программного пакета ANSYS. Для студентов обучающихся по программам подготовки 12.04.01 Приборостроение и 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника. |
|---|---|
| Physical Description: | 184 с. |
| ISBN: | 9785972912209 |