Технология интегральных микросхем Учебное пособие
Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах. Для студентов обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 Констру...
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Вологда
Инфра-Инженерия
2023
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | ЭБС Знаниум ЭБС Знаниум Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
| Итог: | Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах. Для студентов обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 Конструирование и технология электронных средств профиль Конструирование и технология электронных средств. |
|---|---|
| Объем: | 244 с. |
| ISBN: | 9785972912322 |