Влияние микрорельефа электрода и толщины диэлектрика на электрическую прочность и напряженность электрического поля формовки тонкопленочных структур металл-диэлектрик-металл
| Published in: | Нанотехнологии: разработка, применение - XXI век vtls000162982 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |