Проектирование и моделирование МЭМС
В учебном пособии рассмотрены проектные процедуры проектирования МЭМСакселерометра и высокочастотного МЭМС-переключателя и методики моделирования этих устройств с применением специализированных систем автоматизированного проектирования. Особое внимание уделено анализу деформации в корпусе и интегра...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва
РТУ МИРЭА
2023
|
| Online Access: | ЭБС Лань ЭБС Лань Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
| Summary: | В учебном пособии рассмотрены проектные процедуры проектирования МЭМСакселерометра и высокочастотного МЭМС-переключателя и методики моделирования этих устройств с применением специализированных систем автоматизированного проектирования. Особое внимание уделено анализу деформации в корпусе и интеграции модели в систему и интегральную схему. Пособие предназначено для бакалавров и магистров, обучающихся по направлениям Электроника и наноэлектроника (01.03.04, 01.04.04) и Нанотехнологии и микросистемная техника (28.03.01 28.04.01) в рамках обучения по дисциплине Моделирование и проектирование элементов электронной компонентной базы и Моделирование и проектирование микро- и наносистем, а также будет полезно инженерам, специализирующимся в области проектирования МЭМС. |
|---|---|
| Physical Description: | 190 с. |
| ISBN: | 9785733919522 |