APA (7th ed.) Citation

Валиев Камиль Ахметович. (1990). Физика субмикронной литографии: научное издание. Наука.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Валиев Камиль Ахметович. Физика субмикронной литографии: научное издание. М.: Наука, 1990.

MLA (8th ed.) Citation

Валиев Камиль Ахметович. Физика субмикронной литографии: научное издание. Наука, 1990.

Warning: These citations may not always be 100% accurate.