|
|
|
|
| LEADER |
02169nam a2200337 i 4500 |
| 001 |
LibTUSUR0000015123 |
| 008 |
060815s1990 ru_а l000 0yrus d |
| 020 |
|
|
|a 5335005726
|
| 040 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|b rus
|
| 100 |
1 |
|
|a Полтавцев
|q Юрий Гаврилович
|4 aut
|
| 245 |
0 |
0 |
|a Технология обработки поверхностей в микроэлектронике:
|b производственно-практическое издание/
|c Юрий Гаврилович Полтавцев, Александр Сергеевич Князев
|
| 260 |
|
|
|a Киев:
|b Тэхника
|c 1990
|
| 300 |
|
|
|a 205, [3] с.:
|b а-ил
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 197-204
|
| 535 |
2 |
|
|a Библиотека ТУСУР
|d https://lib.tusur.ru
|
| 653 |
0 |
|
|a микроэлектроника
|
| 653 |
0 |
|
|a обработка поверхностей
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i П528
|p 254664
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i П528
|p 254665
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i П528
|p 254666
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i П528
|p 268555
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i П528
|p р/к 1138-1
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i П528
|p р/к 1138-2
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i П528
|p р/к 1138
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i П528
|p р/к 1138
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i П528
|p р/к 1138
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i П528
|p р/к 1138
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i П528
|p р/к 1138
|b аунл
|
| 080 |
|
|
|a 621.794
|a 621.382.049.77.002
|
| 700 |
1 |
|
|a Князев
|q Александр Сергеевич
|4 aut
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
|u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.382/П528-075931
|
