Технология обработки поверхностей в микроэлектронике: производственно-практическое издание/

Библиографическая информация
Главные авторы: Полтавцев Юрий Гаврилович (Автор), Князев Александр Сергеевич (Автор)
Формат: Книга
Публикация: Киев: Тэхника 1990
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР