Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на арсениде галлия: научное издание/
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Published: |
М.:
Радио и связь
1990
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 85, [3] с.: а-ил |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: с. 83-86 |
| ISBN: | 5256007408 |