Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на арсениде галлия: научное издание/
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
М.:
Радио и связь
1990
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 85, [3] с.: а-ил |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 83-86 |
| ISBN: | 5256007408 |