Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на арсениде галлия: научное издание/

Библиографическая информация
Главный автор: Черняев, А. В. Александр Владимирович (Автор)
Формат: Книга
Публикация: М.: Радио и связь 1990
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР