Борисенко, А. С. А. С., & Бавыкин, Н. И. Н. И. (1983). Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств: учебник для техникумов. Машиностроение.
Chicago Style (17th ed.) CitationБорисенко, А. С. Александр Сергеевич, and Н. И. Николай Иванович Бавыкин. Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств: учебник для техникумов. М.: Машиностроение, 1983.
MLA (8th ed.) CitationБорисенко, А. С. Александр Сергеевич, and Н. И. Николай Иванович Бавыкин. Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств: учебник для техникумов. Машиностроение, 1983.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.