Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств: учебник для техникумов/
| Main Authors: | , |
|---|---|
| Format: | Book |
| Published: |
М.:
Машиностроение
1983
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 320 с.: a-рис. |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: с. 318-319 |