APA (7th ed.) Citation

Броудай Ивор, Мерей Джулиус, Шальнов, А. В., Володин, В. А., Першенков, В. С., & Подлепецкий, Б. И. (1985). Физические основы микротехнологии: Пер. с англ. Мир.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Броудай Ивор, Мерей Джулиус, А. В Шальнов, В. А Володин, В. С Першенков, and Б. И Подлепецкий. Физические основы микротехнологии: Пер. с англ. М.: Мир, 1985.

MLA (8th ed.) Citation

Броудай Ивор, et al. Физические основы микротехнологии: Пер. с англ. Мир, 1985.