|
|
|
|
| LEADER |
02270nam a2200433 i 4500 |
| 001 |
LibTUSUR0000015126 |
| 008 |
060815s1985 ru_а l000 0yrus d |
| 040 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|b rus
|
| 100 |
1 |
|
|a Броудай
|q Ивор
|4 aut
|
| 245 |
0 |
0 |
|a Физические основы микротехнологии:
|b Пер. с англ./
|c Ивор Броудай, Джулиус Мерей
|
| 260 |
|
|
|a М.:
|b Мир
|c 1985
|
| 300 |
|
|
|a 494, [2] с.:
|b а-ил
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 465-483. -Предм. указ.: с. 484-492
|
| 535 |
2 |
|
|a Библиотека ТУСУР
|d https://lib.tusur.ru
|
| 653 |
0 |
|
|a микроэлектроника
|
| 653 |
0 |
|
|a физические основы
|
| 653 |
0 |
|
|a пучки частиц
|
| 653 |
0 |
|
|a тонкие пленки
|
| 653 |
0 |
|
|a литография
|
| 653 |
0 |
|
|a микросхемы
|
| 653 |
0 |
|
|a субмикронная микроскопия
|
| 653 |
0 |
|
|a микрозонды
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.3
|i Б888
|p 218914
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.3
|i Б888
|p 218919
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.3
|i Б888
|p 218920
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.3
|i Б888
|p 218921
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.3
|i Б888
|p 218922
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.3
|i Б888
|p 218924
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.3
|i Б888
|p 218925
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.3
|i Б888
|p 218926
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.3
|i Б888
|p 218927
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.3
|i Б888
|p 226549
|b аунл
|
| 080 |
|
|
|a 621.382.049.77.002
|
| 700 |
1 |
|
|a Мерей
|q Джулиус
|4 aut
|
| 700 |
1 |
|
|a Шальнов, А. В.
|
| 700 |
1 |
|
|a Володин, В. А.
|4 trl
|
| 700 |
1 |
|
|a Першенков, В. С.
|4 trl
|
| 700 |
1 |
|
|a Подлепецкий, Б. И.
|4 trl
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
|u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.3/Б888-159092
|
