APA (7th ed.) Citation

Данилина, Т. И. Т. И., Смирнова, К. И. К. И., & Воробьев, Г. А. Г. А. (1984). Физические основы технологии микросхем: Учебное пособие. Издательство Томского университета.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, К. И. Клара Ивановна Смирнова, and Г. А. Григорий Абрамович Воробьев. Физические основы технологии микросхем: Учебное пособие. Томск: Издательство Томского университета, 1984.

MLA (8th ed.) Citation

Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al. Физические основы технологии микросхем: Учебное пособие. Издательство Томского университета, 1984.