Физические основы технологии микросхем: Учебное пособие/
| Main Authors: | , |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Published: |
Томск:
Издательство Томского университета
1984
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 84, [2] с.: а-ил. |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: с. 83 |