LEADER 04655nam a2200721 i 4500
001 LibTUSUR0000015133
008 060815s1984 ru_а l000 0yrus d
040 |a Библиотека ТУСУР  |b rus 
100 1 |a Данилина, Т. И.  |q Тамара Ивановна  |4 aut 
245 0 0 |a Физические основы технологии микросхем:   |b Учебное пособие/  |c Т. И. Данилина, К. И. Смирнова ; ред. Г. А. Воробьев  
260 |a Томск:  |b Издательство Томского университета  |c 1984 
300 |a 84, [2] с.:  |b а-ил. 
504 |a Библиогр.: с. 83 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
653 0 |a учебные пособия 
653 0 |a микросхемы 
653 0 |a физические основы 
653 0 |a технология 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-10  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-11  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-12  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-13  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-14  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-15  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-16  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-17  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-18  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-19  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-1  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-20  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-21  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-22  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-23  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-24  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-25  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-26  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-27  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-28  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-29  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-2  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-30  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-31  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-32  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-33  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-34  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-35  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-36  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-37  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-3  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-4  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-5  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-6  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-7  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-8  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84-9  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84  |b счз1 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84  |b счз1 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84  |b счз1 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Д182  |p 97.84  |b аунл 
080 |a 621.382.049.77(075) 
700 1 |a Смирнова, К. И.  |q Клара Ивановна  |4 aut 
700 1 |a Воробьев, Г. А.  |q Григорий Абрамович  |4 edt 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.3/Д182-233159