Расчет комплексов оборудования микроэлектроники/
| Main Authors: | , |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
М.:
Энергия
1979
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 104 с |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: с. 101-103 |