Расчет комплексов оборудования микроэлектроники/

Библиографическая информация
Главные авторы: Корнилов, Р. В. Ростислав Васильевич (Автор), Сандеров, В. Л. Вильям Лазаревич (Автор)
Формат: Книга
Язык:Russian
Публикация: М.: Энергия 1979
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Описание
Объем:104 с
Библиография:Библиогр.: с. 101-103