Мягков Алексей Тихонович & Корсетов Евгений Михайлович. (1979). Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники. Энергия.
Chicago-стиль цитированияМягков Алексей Тихонович and Корсетов Евгений Михайлович. Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники. М.: Энергия, 1979.
MLA-цитированиеМягков Алексей Тихонович and Корсетов Евгений Михайлович. Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники. Энергия, 1979.
Предупреждение: эти цитирования не могут быть точны на 100%.
