APA (7th ed.) Citation

Мягков Алексей Тихонович & Корсетов Евгений Михайлович. (1979). Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники. Энергия.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Мягков Алексей Тихонович and Корсетов Евгений Михайлович. Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники. М.: Энергия, 1979.

MLA (8th ed.) Citation

Мягков Алексей Тихонович and Корсетов Евгений Михайлович. Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники. Энергия, 1979.