|
|
|
|
| LEADER |
01189nam a2200193 i 4500 |
| 001 |
LibTUSUR0000015139 |
| 008 |
060815s1979 ru_ l000 0yrus d |
| 040 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|b rus
|
| 100 |
1 |
|
|a Мягков
|q Алексей Тихонович
|4 aut
|
| 245 |
0 |
0 |
|a Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники/
|c Алексей Тихонович Мягков, Евгений Михайлович Корсетов
|
| 260 |
|
|
|a М.:
|b Энергия
|c 1979
|
| 300 |
|
|
|a 312 с.
|
| 535 |
2 |
|
|a Библиотека ТУСУР
|d https://lib.tusur.ru
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i М99
|p 177945
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i М99
|p 179053
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i М99
|b счз1
|
| 080 |
|
|
|a 621.382.049.77.002.5
|
| 700 |
1 |
|
|a Корсетов
|q Евгений Михайлович
|4 aut
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
|u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.382/М99-905718
|
