Пресс, Ф. П. Ф. П. (1968). Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов. Энергия.
Chicago Style (17th ed.) CitationПресс, Ф. П. Феликс Павлович. Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов. М.: Энергия, 1968.
MLA (8th ed.) CitationПресс, Ф. П. Феликс Павлович. Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов. Энергия, 1968.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.
