Пресс, Ф. П. Ф. П. (1968). Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов. Энергия.
Chicago-стиль цитированияПресс, Ф. П. Феликс Павлович. Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов. М.: Энергия, 1968.
MLA-цитированиеПресс, Ф. П. Феликс Павлович. Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов. Энергия, 1968.
Предупреждение: эти цитирования не могут быть точны на 100%.
