Лазерная технология в производстве интегральных микросхем: Учебное пособие для ПТУ/
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Published: |
М.:
Высшая школа
1990
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 54, [2] с.: а-ил. |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: с. 55 |
| ISBN: | 5060010783 |