Лазерная технология в производстве интегральных микросхем: Учебное пособие для ПТУ/
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
М.:
Высшая школа
1990
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 54, [2] с.: а-ил. |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 55 |
| ISBN: | 5060010783 |