Лазерная технология в производстве интегральных микросхем: Учебное пособие для ПТУ/

Bibliographic Details
Main Author: Верховский, Е. И. Евгений Ильич (Author)
Format: Book
Published: М.: Высшая школа 1990
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
LEADER 01494nam a2200265 i 4500
001 LibTUSUR0000016171
008 060815s1990 ru_аa l000 0yrus d
020 |a 5060010783 
040 |a Библиотека ТУСУР  |b rus 
100 1 |a Верховский, Е. И.  |q Евгений Ильич  |4 aut 
245 0 0 |a Лазерная технология в производстве интегральных микросхем:   |b Учебное пособие для ПТУ/  |c Е. И. Верховский 
260 |a М.:  |b Высшая школа  |c 1990 
300 |a 54, [2] с.:  |b а-ил. 
504 |a Библиогр.: с. 55 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
653 0 |a микросхемы 
653 0 |a интегральные микросхемы 
653 0 |a лазерные технологии 
653 0 |a лазеры 
653 0 |a учебные пособия 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.373  |i В 363  |p 254954  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.373  |i В 363  |p 254955  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.373  |i В 363  |p 254956  |b аунл 
080 |a 621.373.826:621.382.049.77(075.3)  |a 621.382.049.77.002:621.375.826(075.3) 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.373/В 363-774378