Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства: Учеб. для ПТУ/

Bibliographic Details
Main Author: Моряков Олег Сергеевич (Author)
Format: Book
Published: М.: Высшая школа 1989
Edition:4-е изд., перераб. и доп.
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
LEADER 01103nam a2200181 i 4500
001 LibTUSUR0000017062
008 060815s1989 ru_а l000 0yrus d
040 |a Библиотека ТУСУР  |b rus 
100 1 |a Моряков  |q Олег Сергеевич  |4 aut 
245 0 0 |a Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства:   |b Учеб. для ПТУ/  |c Олег Сергеевич Моряков 
250 |a 4-е изд., перераб. и доп. 
260 |a М.:  |b Высшая школа  |c 1989 
300 |a 240 с.:  |b а-ил 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.382  |i М809  |p 262149  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.382  |i М809  |p 275074  |b аунл 
080 |a 621.382.002.5(075.3) 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.382/М809-412798