LEADER 01594nam a2200301 i 4500
001 LibTUSUR0000017303
008 060815s1990 ru_а l000 0yrus d
020 |a 5030003630 
040 |a Библиотека ТУСУР  |b rus 
245 0 0 |a Чистые помещения:   |b Пер. с яп./  |c Ред. Ития Хаякава, Ред. пер. В. Г. Ржанов, Ред. пер. М. Е. Ушаков, Пер. В. Ю. Акифьев, Пер. Л. Н. Дмитрук, Пер. М. Е. Панюков 
260 |a М.:  |b Мир  |c 1990 
300 |a 454[2] с.:  |b а-ил 
504 |a Библиогр.: с. 439-450. -Предм. указ.: с. 451-452 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
653 0 |a микроэлектроника 
653 0 |a производственные помещения 
653 0 |a экология 
653 0 |a чистые помещения 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.382  |i Ч-688  |p 258837  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.382  |i Ч-688  |p 258838  |b аунл 
080 |a 621.382.049.77.002.5 
700 1 |a Ушаков, М. Е. 
700 1 |a Акифьев, В. Ю.  |4 trl 
700 1 |a Дмитрук, Л. Н.  |4 trl 
700 1 |a Панюков, М. Е.  |4 trl 
700 1 |a Хаякава  |q Ития  |4 edt 
700 1 |a Ржанов, В. Г. 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.382/Ч-688-855746