Чистые помещения: Пер. с яп./

Библиографическая информация
Другие авторы:	Ушаков, М. Е., Акифьев, В. Ю. (Переводчик), Дмитрук, Л. Н. (Переводчик), Панюков, М. Е. (Переводчик), Хаякава Ития (Редактор), Ржанов, В. Г.
Формат:	Книга
Публикация:	М.: Мир 1990
Предметы:	микроэлектроника производственные помещения экология чистые помещения
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы