Технология производства интегральных микросхем: Учебное пособие для вузов/

Библиографическая информация
Главный автор: Черняев, В. Н. Владимир Николаевич (Автор)
Другие авторы: Васенков, А. А. Александр Анатольевич (Редактор)
Формат: Книга
Публикация: М.: Энергия 1977
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Описание
Объем:374[2] с.: a-ил
Библиография:Предм. указ.: с. 367-370. -Библиогр.: с. 364-366