Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства: Учеб. для средн. проф. -техн. Училищ/

Библиографическая информация
Главный автор: Моряков Олег Сергеевич (Автор)
Формат: Книга
Публикация: М.: Высшая школа 1981
Редактирование:3-е издание, переработанное и дополненное
Серии:Профтехобразование.Полупроводники
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
LEADER 01257nam a2200193 i 4500
001 LibTUSUR0000018004
008 060815s1981 ru_а l000 0yrus d
040 |a Библиотека ТУСУР  |b rus 
100 1 |a Моряков  |q Олег Сергеевич  |4 aut 
245 0 0 |a Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства:   |b Учеб. для средн. проф. -техн. Училищ/  |c Олег Сергеевич Моряков 
250 |a 3-е издание, переработанное и дополненное 
260 |a М.:  |b Высшая школа  |c 1981 
300 |a 336 с.:  |b а-ил 
440 0 |a Профтехобразование.Полупроводники 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.382  |i М809  |p 197606  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.382  |i М809  |p 275075  |b аунл 
080 |a 621.382.002.5(075) 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.382/М809-489372