Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства: Учеб. для средн. проф. -техн. Училищ/
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Published: |
М.:
Высшая школа
1981
|
| Edition: | 3-е издание, переработанное и дополненное |
| Series: | Профтехобразование.Полупроводники
|
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
