Обработка монокристаллов в микроэлектронике: /
| Main Authors: | , |
|---|---|
| Format: | Book |
| Published: |
М.:
Радио и связь
1988
|
| Series: | Массовая библиотека инженера. "Электроника"
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 103, [1] с.: a-ил. |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: с. 96-102 |
| ISBN: | 5256001396 |