Обработка монокристаллов в микроэлектронике: /

Библиографическая информация
Главные авторы: Карбань, В. И. Валерий Иванович (Автор), Борзаков, Ю. И. Юрий Иванович (Автор)
Формат: Книга
Публикация: М.: Радио и связь 1988
Серии:Массовая библиотека инженера. "Электроника"
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
LEADER 01736nam a2200301 i 4500
001 LibTUSUR0000018122
008 060815u1988 ru_aa l000 0yrus d
020 |a 5256001396 
040 |a Библиотека ТУСУР  |b rus 
100 1 |a Карбань, В. И.  |q Валерий Иванович  |4 aut 
245 0 0 |a Обработка монокристаллов в микроэлектронике:   |b  /  |c В. И. Карбань, Ю. И. Борзаков 
260 |a М.:  |b Радио и связь  |c 1988 
300 |a 103, [1] с.:  |b a-ил. 
440 0 |a Массовая библиотека инженера.  |p "Электроника" 
504 |a Библиогр.: с. 96-102 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
653 0 |a микроэлектроника 
653 0 |a монокристаллы 
653 0 |a обработка 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.382  |i К 217  |p 242931  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.382  |i К 217  |p 242932  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.382  |i К 217  |p 242933  |b счз1 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.382  |i К 217  |p 242934  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.382  |i К 217  |p 242935  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.382  |i К 217  |p 246837  |b аунл 
080 |a 621.382.049.77:621.315.592:548.55  |a 548.55 
700 1 |a Борзаков, Ю. И.  |q Юрий Иванович  |4 aut 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.382/К 217-830149