Оборудование для производства фотошаблонов и выполнения операций фотолитографии/

Bibliographic Details
Main Author: Глазков Илья Михайлович (Author)
Format: Book
Language:Russian
Published: М.: Советское радио 1975
Series:Массовая библиотека инженера "Электроника"
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
LEADER 01056nam a2200169 i 4500
001 LibTUSUR0000018267
008 060815s1975 ru_ l000 0yrus d
040 |a Библиотека ТУСУР  |b rus 
100 1 |a Глазков  |q Илья Михайлович  |4 aut 
245 0 0 |a Оборудование для производства фотошаблонов и выполнения операций фотолитографии/  |c Илья Михайлович Глазков 
260 |a М.:  |b Советское радио  |c 1975 
300 |a 73 с. 
440 0 |a Массовая библиотека инженера "Электроника" 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.382  |i Г524  |p 5  |b аунл 
080 |a 621.382.049.77.002 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.382/Г524-530427