Устройства и методы фотометрического контроля в технологии производства ИС/

Bibliographic Details
Main Authors: Глудкин Олег Павлович (Author), Густов Александр Евгеньевич (Author)
Format: Book
Language:Russian
Published: М.: Радио и связь 1981
Series:Массовая библиотека инженера "Электроника"; 26
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
LEADER 01362nam a2200205 i 4500
001 LibTUSUR0000018268
008 060815s1981 ru_ l000 0yrus d
040 |a Библиотека ТУСУР  |b rus 
100 1 |a Глудкин  |q Олег Павлович  |4 aut 
245 0 0 |a Устройства и методы фотометрического контроля в технологии производства ИС/  |c Олег Павлович Глудкин, Александр Евгеньевич Густов 
260 |a М.:  |b Радио и связь  |c 1981 
300 |a 112 с. 
440 0 |a Массовая библиотека инженера "Электроника";   |v 26 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Г551  |p 193107  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Г551  |p 193106  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i Г551  |p 193108  |b аунл 
080 |a 621.382.049.77.002:535.24  |a 658.562.3.012.7:621.3.049.77 
700 1 |a Густов  |q Александр Евгеньевич  |4 aut 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.3/Г551-398476