Устройства и методы фотометрического контроля в технологии производства ИС/

Библиографическая информация
Главные авторы: Глудкин Олег Павлович (Автор), Густов Александр Евгеньевич (Автор)
Формат: Книга
Язык:Russian
Публикация: М.: Радио и связь 1981
Серии:Массовая библиотека инженера "Электроника"; 26
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР