Данилин Борис Степанович & Киреев Валерий Юрьевич. (1979). Ионное травление микроструктур: научное издание. Советское радио.
Chicago Style (17th ed.) CitationДанилин Борис Степанович and Киреев Валерий Юрьевич. Ионное травление микроструктур: научное издание. М.: Советское радио, 1979.
MLA (8th ed.) CitationДанилин Борис Степанович and Киреев Валерий Юрьевич. Ионное травление микроструктур: научное издание. Советское радио, 1979.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.
