Ионное травление микроструктур: научное издание/
| Main Authors: | , |
|---|---|
| Format: | Book |
| Published: |
М.:
Советское радио
1979
|
| Series: | Массовая библиотека инженера "Электроника";
21 |
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 101[2] с.: а-ил |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: с. 95-102 |