Ионное травление микроструктур: научное издание/
| Главные авторы: | , |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
М.:
Советское радио
1979
|
| Серии: | Массовая библиотека инженера "Электроника";
21 |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 101[2] с.: а-ил |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 95-102 |