Ионное травление микроструктур: научное издание/
| Главные авторы: | Данилин Борис Степанович (Автор), Киреев Валерий Юрьевич (Автор) |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
М.:
Советское радио
1979
|
| Серии: | Массовая библиотека инженера "Электроника";
21 |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
Похожие документы
-
Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур: научное издание/
по: Киреев, В. Ю. Валерий Юрьевич, et al.
Публикация: (1983) -
Технология СБИС: Учебное пособие/
по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Публикация: (2007) -
Исследование и разработка технологических процессов внутреннего монтажа бескорпусных микросхем на основе полиимидных микроструктур для производства высокоинтегрированных микросборок: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 05.27.06/
по: Вертянов, Д. В. Денис Васильевич
Публикация: (2020) -
Процессы микро- и нанотехнологии: учебное пособие для вузов/
по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Публикация: (2005) -
Травление кристаллов Теория. Эксперимент. Применение
по: Сангвал, Кешра
Публикация: (1990)
