APA (7th ed.) Citation

Киреев, В. Ю. В. Ю., Данилин, Б. С. Б. С., & Кузнецов, В. И. В. И. (1983). Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур: научное издание. Радио и связь.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Киреев, В. Ю. Валерий Юрьевич, Б. С. Борис Степанович Данилин, and В. И. Владимир Иванович Кузнецов. Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур: научное издание. М.: Радио и связь, 1983.

MLA (8th ed.) Citation

Киреев, В. Ю. Валерий Юрьевич, et al. Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур: научное издание. Радио и связь, 1983.