Киреев, В. Ю. В. Ю., Данилин, Б. С. Б. С., & Кузнецов, В. И. В. И. (1983). Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур: научное издание. Радио и связь.
Chicago-стиль цитированияКиреев, В. Ю. Валерий Юрьевич, Б. С. Борис Степанович Данилин, and В. И. Владимир Иванович Кузнецов. Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур: научное издание. М.: Радио и связь, 1983.
MLA-цитированиеКиреев, В. Ю. Валерий Юрьевич, et al. Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур: научное издание. Радио и связь, 1983.
Предупреждение: эти цитирования не могут быть точны на 100%.